濺鍍機（高分子儀器）

　

服務項目：
薄膜沉積製程（成長ITO等材料為主）
如需成長其他材料需先經指導教授同意

收費辦法：

● 校內：

系統維護費：1,000 NT/次

耗材費：ITO 300NT /hr     N2 gas 50NT/hr        Ar gas 50NT/hr      O2 gas 50 NT/hr

[自行操作]：系統維護費+耗材費

[專人操作]：系統維護費+耗材費+人事費（500 NT/hr）

　

● 校外：

系統維護費：1,500 NT/次

耗材費：ITO 600NT /hr     N2 gas 100NT/hr     Ar gas 100NT/hr     O2 gas 100 NT/hr

[自行操作]：系統維護費+耗材費

[專人操作]：系統維護費+耗材費+人事費（500 NT/hr）

開放時間：
每週一 早上9點至下午5點
每週二 早上9點至中午12點

儀器地點：材料所B2020

聯絡方式 ：
指導教授：光電所 張美濙教授
Tel：(07)5252000 ext 4465
E-mail： mychang01@yahoo.com
技術員：陳一帆
Tel：(07)5252000 ext 4465
E-mail： d953050009@student.nsysu.edu.tw