分子束磊晶系統
儀器設備說明
生長室：超高真空磊晶室
Load-Lock室：樣品出入室
RHEED：反射式高能電子繞射系統
液氮冷卻系統：維持磊晶室超高真空
K-cells：產生穩定分子束
基板操控器：操控定位基板
烘烤設備：去除系統水氣雜物
服務項目
1. 在超高真空下，成長晶膜。
2. 在超高真空下，作反射式高能電子繞射。
收費標準
本實驗室提供其他研究群使用不予收費，惟必須以共同研究之方式進行。
試片準備
以單晶為主要磊晶基板
聯絡方式 指導教授：杜立偉教授、羅奕凱教授，理學院物理系
TEL：(07)525-2000 ext. 3736
儀器地點：理學院物理系 D3009-1 室