半導體精準參數量測系統
本精準量測系統適用於半導體電子材料、奈米元件之電性量測
(I－V、C－V)，並且附加溫控系統做溫度調變，可用來分析材料之可靠度和電性機制，配合低溫探測平台可在不同溫度下作元件特性的量測和可靠度研究，更能釐清其中的物理機制；全系統變溫量測的範圍可從4K到200℃。此外，利用DLTS量測技術，可以萃取出材料及元件中電荷能陷(trap)的濃度、能階分佈位置、捕捉截面積，提供精確的分析資訊。整個系統利用ICS量測軟體進行自動控制，能方便且迅速的量測。
儀器設備說明：
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型號：4156C Precision Semiconductor Parameter Analyzer (With
41501 Pulse and Generator Expander)
規格：1. Channel：HRSMU ×4、VSU ×2、VMU×2、HPSMU
×1、PGU ×2
2. SMU sweep voltage：HRSMU (－100V∼＋100V)、HPSMU (－200V∼＋200V)
3. SMU resolution：HRSMU(1fA)、HPSMU(10fA)
4. PGU Amplitude：40Vp-p
pulse Width：1us to 9.99s (100ns res.)
pulse period：2us to 10s (100ns res.)
Transition Time：100ns to 10ms (1ns res.)
● 型號：4284A Precision
LCR Meter
規格：Measurement frequency from 20HZ to 1MHz
● 型號：4294A Precision
Impedance Analyzer
規格：1. Configuration：Four-terminal pair
configuration
2. Measurement frequency from 40HZ to 110MHz
3. Resolution：1 mHz
4. DC Bias Function：DC voltage bias：Range 0 to ±40 V
Resolution：1 mV
DC current bias：Range 0 to ±100 mA
Resolution 40 μA
5. Current Signal Level：Range：200 μArms to 20 mArms
Resolution： 20 μA
6. Voltage Signal Level：Range：5 mVrms to 1 Vrms
Resolution： 1 mV
● 型號：81110A 330/165
MHz Pulse/Pattern Generator
(With Two 8111A Pulse/Pattern o/p Module 165MHz, 10V)
規格：Frequency range：1 mHz – 165 MHz
Period range：6.06 ns to 999.5 s
Width range：6.25 ns to 999.5 s
Amplitude range：100 mV to 20.0 V
● 型號：Probe Station
規格：Sample on the chuck up to 6”wafer
● 型號：Thermal Controller
規格：Control from room temperature to 200℃
● 型號：TTP-6 Probe Station with Low Temperature Measurement System
規格：With 5 terminals including 4 probes and chuck
Temperature Range：475K – 4K ( use Liquid Helium)
Chuck Size：Diameter：4 cm
Vacuum System：~ 1E-5 torr
● 型號：Deep Level Transient Spectrometer (DLTS)
規格：Temperature Range：475K – 4K ( use Liquid Helium)
Measurement Range：~1000 pf
Output Voltage：0 V ~ -13V
Frequency：1MHz
服務項目：（1）精準電性量測分析 （2）變溫量測 （3）低溫電性量測
收費標準：儀器使用每小時收費1000元整；不足1小時以1小時計。
聯絡方式：
TEL：(07)5252000轉3708