電子槍蒸鍍系統
蒸鍍各式氧化物及氟化物,可運用於雷射鍍膜、光通訊元件鍍膜。
儀器設備說明
型 號: JEOL-203UB6S
主要規格: 1.CRYO PUMP 可達5×10-7 torr之終極壓力 2.具石英監控及光學監控 3.可在光纖周圍鍍膜
服務項目
蒸鍍 SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2
收費標準
NT$15,000元/HR鍍膜
NT$5,000元/AR鍍膜
試片準備
自備基板(1”,2”均可)
聯絡方式 指導教授:賴聰賢教授,工學院光電所
TEL:(07)525-2000 ext. 4468
技術人員:黃碧鈴小姐
TEL:(07)525-2000 ext. 4457
儀器地點:工學院電機大樓四樓 F4020 室